上海晶盟12英寸重掺外延正式投片
2020年04月27日 9:36 9397次浏览 来源： 中国有色网 分类： 其他稀有金属 作者： 史爱萍
4月7日，上海晶盟硅材料有限公司举行了“300mm特色外延工艺研发及产业化项目”启动仪式，300mm（12英寸）重掺外延正式投片。
据介绍，该项目建设投资共1.3亿元，设计年产能为12万片，根据市场需求，可以适时扩产、增加产能。产品一般应用领域为90nm~120nm节点功率器件，包括分立器件如二极管、三极管、IGBT等；45nm~90nm节点集成电路，包括电源管理芯片及CMOS图像传感器等。
上海晶盟硅材料有限公司是上海合晶硅材料股份有限公司（以下简称“上海合晶”）的全资子公司。上海合晶是中国大陆第一大8英寸硅外延一体化生产厂商，是中国大陆稀缺的具备从长晶、抛光至外延一体化完成生产设施及技术的硅外延片国际领先厂商。目前，上海合晶正在进行辅导备案，拟申请在科创板上市。
据悉，目前国内300mm重掺抛光片工艺、外延片工艺均未成熟，都处于开发阶段，该项目将基于合晶集团在150mm及200mm的技术积累和市场优势，开辟一条具有合晶特色工艺；为特色器件工艺如IGBT、Super junction等的客户供货。而项目的研制及产业化也将填补国内300mm功率器件用外延的空白。
责任编辑：周大伟
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